隨著社會的發展，各種假冒偽劣產品越來越多，防偽技術顯得尤其重要。精密光刻系統主要用于假冒偽劣產品的防偽處理。它對光刻機的定位精度提出了更高的要求。
傳統的電機再加上一套變換機構與組成的直線運動驅動裝置已經不能滿足現代控制系統的要求。另一方面，由于直線電機驅動的位移機構在快速響應能力和精度等方面都有著普通驅動機構難以匹敵的優勢，因此直線電機驅動的精密光刻系統得到廣泛應用。 直線電機與傳統電機相比的幾個優點：一是結構簡單，由于直線電機不需要把旋轉運動變成直線運動的附加裝置，因而使得系統本身的結構大為簡化，重量和體積大大地下降；二是定位精度高，在需要直線運動的地方，直線電機可以實現直接傳動，因而可以消除中間環節所帶來的各種定位誤差，故定位精度高，如采用微機控制，則還可以大大地提高整個系統的定位精度；三是反應速度快、靈敏度高，隨動性好。直線電機容易做到其動子用磁懸浮支撐，因而使得動子和定子之間始終保持一定的氣隙而不接觸，這就消除了定、動子間的接觸摩擦阻力，因而大大地提高了系統的靈敏度、快速性和隨動性；四是工作安全可靠、壽命長。直線電機可以實現無接觸傳遞力，機械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作安全可靠、壽命長。
直線電機使用的光柵尺分辨率可達到0.1μm，不僅提高了光刻的速度，而且使光刻的精度達到很大提高。由于直線電機的結構簡單、反應速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性好、不怕污染、適應性強、工作穩定可靠、壽命長等優點，使它在工業生產中的應用越來越廣。
